Výskumná skupina výskumného pracovníka Yang Liang vo Výskumnej skupine Suzhou Institute pre pokročilé štúdium na University of Science and Technology v Číne vyvinula novú metódu pre polovodičový laserový laserový laserový laserový laserový laser, ktorý si uvedomil laserovú tlač zNo semikónových konštrukcií s predkrifikáciou submikónovej submikronickej presnosti a pre presnú submikrón Obvody, ako sú diódy, triodes, memristory a šifrovacie obvody, a tak rozširujú aplikačné scenáre laserového mikro-nano spracovania do oblasti mikroelektroniky, v flexibilnej elektronike, pokročilých senzoroch, inteligentných MEMS a iných poliach. Výsledky výskumu boli nedávno publikované v „Nature Communications“ pod názvom „Laser tlačená mikroelektronika“.
Tlačená elektronika je vznikajúca technológia, ktorá využíva metódy tlače na výrobu elektronických výrobkov. Spĺňa charakteristiky flexibility a prispôsobenia novej generácie elektronických výrobkov a prinesie novú technologickú revolúciu do mikroelektronického priemyslu. Za posledných 20 rokov urobili atramentovú tlač, laserom indukovaný prenos (výťah) alebo iné tlačové techniky veľké pokroky, ktoré umožňujú výrobu funkčných organických a anorganických mikroelektronických zariadení bez potreby prostredia čistých miestností. Typická veľkosť prvkov vyššie uvedených metód tlače je však obvykle rádovo desiatky mikrónov a často si vyžaduje vysokoteplotný proces následného spracovania alebo sa spolieha na kombináciu viacerých procesov na dosiahnutie spracovania funkčných zariadení. Laserová technológia spracovania mikro-nano využíva nelineárnu interakciu medzi laserovými impulzmi a materiálmi a môže dosiahnuť zložité funkčné štruktúry a aditívnu výrobu zariadení, ktoré je ťažké dosiahnuť tradičnými metódami s presnosťou <100 nm. Väčšina súčasných laserových mikro-nano-fabrikovaných štruktúr sú však jednotlivé polymérne materiály alebo kovové materiály. Nedostatok metód priameho písania laserom pre polovodičové materiály tiež sťažuje rozšírenie aplikácie technológie laserového mikro-nano spracovania do oblasti mikroelektronických zariadení.
V tejto práci výskumný pracovník Yang Liang v spolupráci s výskumníkmi v Nemecku a Austrálii inovatívne vyvinula laserovú tlač ako tlačovú technológiu pre funkčné elektronické zariadenia, realizuje polovodiče (ZNO) a vodičom (kompozitná laserová tlač, ako je napríklad PT a AG) a nevyžaduje akúkoľvek vysokú technológiu procesu, ktorá sa koná pri pro-procenácii pri všetkých konaniach a minimálnej funkcii. Tento prielom umožňuje prispôsobiť návrh a tlač vodičov, polovodičov a dokonca aj usporiadanie izolačných materiálov podľa funkcií mikroelektronických zariadení, ktoré výrazne zlepšujú presnosť, flexibilitu a ovládateľnosť tlače mikroelektronických zariadení. Na tomto základe výskumný tím úspešne uvedomil integrované laserové priame písanie diód, memristorov a fyzicky nezreprodukovateľných šifrovacích obvodov (obrázok 2). Táto technológia je kompatibilná s tradičnou atramentovou tlačou a ďalšími technológiami a očakáva sa, že sa rozšíri na tlač rôznych materiálov oxidu kovov typu P a N-typu N, čím sa poskytuje systematický nový spôsob spracovania komplexných, rozsiahlych trojrozmerných funkčných mikroelektronických zariadení.
Téza: https: //www.nature.com/articles/s41467-023-36722-7
Čas príspevku: mar-09-2023